AlSc材料在5G濾波器中的應(yīng)用
作者： 本站 來源： 本站 時間：2022年03月18日
摻雜Sc的AlN薄膜因其壓電性能的顯著提升而備受關(guān)注
5G通信中的帶寬都在GHz范圍槐秧，明顯高于目前的蜂窩服務(wù)。這些更高的頻率使得使用體聲波(BAW)技術(shù)來開發(fā)新一代射頻濾波器成為必然忧设。BAW濾波器是一種基于壓電的聲學(xué)諧振器刁标，其頻率和帶寬由壓電元件的幾何形狀、壓電材料的特性见转、薄膜厚度以及相關(guān)電極的幾何形狀和特性決定命雀。與傳統(tǒng)的聲表面波諧振器相比，薄膜體聲波諧振器具有更高的諧振頻率和品質(zhì)因子斩箫。
目前吏砂，薄膜體聲波諧振器常用的壓電材料有ZnO、PZT乘客、AlN狐血。其中，AlN與CMOS工藝的兼容性最好易核，而且AlN沒有工業(yè)界FAB廠擔(dān)心的Zn匈织、Pb、Zr元素與其他元素結(jié)合的污染牡直。近十年來圣掷，AlN壓電薄膜及其器件的制備技術(shù)不斷提高，成熟產(chǎn)品已應(yīng)用于通信領(lǐng)域甜芭。然而匿贴，摻雜Sc的AlN薄膜因其壓電性能的顯著提升而備受關(guān)注。
研究表明霸臂，摻雜35 at% Sc的AlN可以使壓電性能Keff2提升至15.5%耗述，是純AlN的keff2(6%)的2.6倍，其最大相對寬度也由3%提升至7.7%辈拔。而后者對于已經(jīng)分配的新的更寬的5G帶寬尤為重要妒彭，并能帶來更多通信頻段的益處。
但是匙典，當(dāng)Sc摻入量超過43 at%時幕笋，AlScN的晶格會由類似AlN的六方纖鋅結(jié)構(gòu)開始轉(zhuǎn)變?yōu)轭愃芐cN的立方巖鹽結(jié)構(gòu)的晶相，而漸漸失去其壓電性能撑雨。因此垮川，Sc含量接近43%的AlScN表現(xiàn)出最大的壓電響應(yīng)。在含氮?dú)夥罩写鞑罚珹lSc合金靶材能反應(yīng)濺射制備出AlScN薄膜逾条。由于Sc在鋁中的溶解度極低，且合金體系中存在大量脆性金屬間合金投剥，因此制備AlSc合金濺射靶極具挑戰(zhàn)性师脂。金屬間合金使得該體系在采用傳統(tǒng)工藝制造時容易出現(xiàn)裂紋。
盡管如此江锨，Materion公司通過近8年的研究和開發(fā)吃警，成功地研發(fā)出了高Sc含量的AlSc合金產(chǎn)品。Materion公司的AlSc靶材已經(jīng)實(shí)現(xiàn)商業(yè)化啄育，到2020年底將能供應(yīng)Sc含量30at%的AlSc靶材酌心。
制備AlScN薄膜的方法及探索方向
目前制備AlScN薄膜的方法主要有兩種:
一．A l靶和Sc靶共同濺射
通過調(diào)節(jié)各個靶的濺射功率，制備不同化學(xué)配比的AlScN薄膜挑豌。在沉積過程中通入N2安券，使濺射出的Al和Sc原子與N原子反應(yīng)，再在基底上沉積出AlScN薄膜氓英。然而侯勉，與兩個靶之間的空間距離會引成薄膜中成分和相分布的變化，因而這種方法常用于實(shí)驗室開創(chuàng)性研究铝阐。誠然以睦，其薄膜的化學(xué)比和相組成會有較大的波動，其均勻性不易控制昂游。
通過濺射合金靶材滤钠，濺射出靶表面的化學(xué)成分和相組成均勻一致，與N反應(yīng)沉積的AlScN薄膜也具有均勻一致的化學(xué)比和相組成跳窖。這確保了大規(guī)模生產(chǎn)中的工藝穩(wěn)定性祠裸，典型適用于工業(yè)大規(guī)模量產(chǎn)。
對于濺射制備的AlScN薄膜喜拥，尤其是具有高壓電性能的高Sc含量的AlScN薄膜蒜丙，還有以下幾個方面需要探索和優(yōu)化。1. AlScN薄膜大晶粒生長的非c軸取向?qū)弘娦阅苡胁焕绊懩ɑ叮瑧?yīng)避免溯童。2. AlScN薄膜中殘余應(yīng)力的優(yōu)化。
許多研究正在進(jìn)行中求馋，以促進(jìn)高Sc含量的AlScN壓電薄膜在商業(yè)器件上的應(yīng)用。期望這種AlScN壓電薄膜技術(shù)的發(fā)展篙耗，將促成超出BAW器件范圍涵蓋從壓電麥克風(fēng)到下一代汽車傳感器等新器件的發(fā)展迫筑。
Materion是一家擁有100多年高品質(zhì)定制產(chǎn)品和服務(wù)經(jīng)驗的全球制造公司。它擁有33個制造和銷售網(wǎng)點(diǎn)宗弯，服務(wù)于50多個國家脯燃。公司致力于為新興技術(shù)市場提供服務(wù)搂妻，如半導(dǎo)體、LED辕棚、無線通信欲主、顯示器、光學(xué)逝嚎、存儲扁瓢、清潔能源、工業(yè)和醫(yī)藥补君。
Materion 公司應(yīng)用材料事業(yè)部在美國引几、德國和新加坡?lián)碛?個濺射靶材制造廠。Materion公司創(chuàng)造了一種獨(dú)特的技術(shù)來制造高純度挽铁、高Sc的AlSc合金靶材伟桅，并且可以將O含量控制在一個非常低的范圍內(nèi)。由Materion制備的AlSc靶的元素和相組成的分布均勻性從靶材中心到邊緣妈唯，以及橫貫靶厚度各區(qū)域都得到了很好的控制泣幼。此外，Materion與業(yè)內(nèi)各大OEM廠商都有著廣泛深入的合作燃悍。
內(nèi)容來源：言智 博士
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